В ОАО «Минский НИИ радиоматериалов» разработана технология и конструкция изготовления высокочувствительного датчика теплового потока (ДТП) для измерения мощности лучистой энергии. Прибор имеет характеристики, удовлетворяющие требованиям, предъявляемым к компонентам космической аппаратуры. При его изготовлении использованы 2 оптических фильтра. Первый– на основе лейкосапфира (Al₂O₃)– обеспечивает пропускание излучения в ультрафиолетовом, видимом и ближнем инфракрасном спектре, второй– на основе германия– только в инфракрасной области. Основные технические характеристики датчика: чувствительность– (38,6÷48,9) В/Вт для мощности теплового потока (0÷500) Вт/м²  и (93,9÷104,3) В/Вт для потока (500÷4000) Вт/м²; время отклика– 0,04 с.

Новизна технологии заключается в подборе для создания мембран нестехиометрического нитрида кремния SixNy с низкими внутренними напряжениями (не более 50 Мпа), что значительно меньше, чем у широко применяемого нитрида кремния Si₃N₄ (1150 Мпа).

Преимущества ДТП обусловлены тем, что планарная технология и двусторонняя фотолитография позволяют за счет масштабирования топологических размеров кристалла увеличить чувствительность и снизить массогабаритные характеристики датчиков. Они найдут применение в измерительных модулях малых космических аппаратов и при их наземных испытаниях, а также в системах регулирования температурных процессов, дистанционного измерения температур (турбинные двигатели, медицина), селективных замеров лучистой энергии определенных диапазонов спектра.

Полученные результаты будут использоваться при создании приборов совместно с ОАО «Пеленг» и Институтом физики имени Б.И. Степанова НАН Беларуси.

Разработка защищена патентом на полезную модель «Термоэлектрический приемник излучения».